書誌情報｡

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978-4-274-20415-9
書誌情報
資料の種別｡ 図書｡ 資料資料情報のコピー
書名｡ 電子線リソグラフィ教本(デンシセン/リソグラフィ/キョウホン)｡
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著者名等｡ 横山/浩‖監修(ヨコヤマ,ヒロシ)｡
秋永/広幸‖編(アキナガ,ヒロユキ)｡
出版者｡ オーム社／東京｡
出版年｡ 2007.6｡
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貸出情報｡

所蔵数｡ 館内でのみ利用可能な資料｡ 貸出可能な資料｡ 貸出中の資料｡ 予約数｡
所蔵数
1 冊
館内でのみ利用可能な資料
0 冊
貸出可能な資料｡
1 冊
貸出中の資料
0 冊
予約数
0 件
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所蔵情報｡

状態についての詳細は、こちらを参照してください。
番号｡ 資料番号｡ 配架場所（配架案内）｡ 請求記号｡ 状態｡
1｡
資料番号：
006903041｡
配架場所：
２階産技センターセレクション２階産技センターセレクション（お探しの資料は２階科学と産業のフロアにあります。おわかりにならない時は、職員におたずね下さい。）｡
請求記号：
549.9/N 7｡
状態：
貸出可｡
このページのURL：http://library.pref.yamaguchi.lg.jp/wo/opc_srh/srh_detail/1000443258
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