2024/11/26
書誌情報
| 資料の種別｡ |
図書｡
 資料情報のコピー
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| 書名｡ |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み(ヨク/ワカル/サイシン/ハンドウタイ/セイゾウ/ソウチ/ノ/キホン/ト/シクミ)｡
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| 副書名｡ |
ファブから検査まで製造装置を俯瞰する(ファブ/カラ/ケンサ/マデ/セイゾウ/ソウチ/オ/フカン/スル)｡
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| 製造技術の神髄(セイゾウ/ギジュツ/ノ/シンズイ)｡
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| 著者名等｡ |
佐藤/淳一‖著(サトウ,ジュンイチ)｡
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| 版次｡ |
第3版｡
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| 出版者｡ |
秀和システム／東京｡
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| 出版年｡ |
2019.12｡
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| ページと大きさ｡ |
261p／21cm｡
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| シリーズ名｡ |
図解入門｡
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| Visual Guide Book｡
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| 件名｡ |
半導体｡
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| 分類｡ |
NDC8 版：549.8｡
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| NDC9 版：549.8｡
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| ISBN｡ |
978-4-7980-6037-8｡
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| 価格｡ |
¥2000｡
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| 書誌番号｡ |
1001698001｡
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| 内容紹介｡ |
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。｡
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| 著者紹介｡ |
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。｡
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| 所蔵数｡ |
館内でのみ利用可能な資料｡ |
貸出可能な資料｡ |
貸出中の資料｡ |
予約数｡ |
- 所蔵数
- 1 冊
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- 館内でのみ利用可能な資料
- 0 冊
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- 貸出可能な資料｡
- 1 冊
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- 貸出中の資料
- 0 冊
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- 予約数
- 0 件
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| 番号｡ |
資料番号｡ |
配架場所（配架案内）｡ |
請求記号｡ |
状態｡ |
| 1｡ |
- 資料番号：
- 009026089｡
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- 配架場所：
- ２階科学と産業のフロア２階科学と産業のフロア（お探しの資料は２階科学と産業のフロアにあります。おわかりにならない時は、職員におたずね下さい。）｡
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- 請求記号：
- 549.8/P 9｡
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- 状態：
- 貸出可｡
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このページのURL：http://library.pref.yamaguchi.lg.jp/wo/opc_srh/srh_detail/1001698001
