2024/09/12
書誌情報
資料の種別。 |
図書。
資料情報のコピー
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書名。 |
VLSIプロセス技術(ヴイエルエスアイ/プロセス/ギジュツ)。
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副書名。 |
高歩留りのための問題点とその解決(コウブドマリ/ノ/タメ/ノ/モンダイテン/ト/ソノ/カイケツ)。
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著者名等。 |
小林/稔‖著(コバヤシ,ミノル)。
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中島/蕃‖著(ナカジマ,シゲル)。
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垂井/康夫‖監修(タルイ,ヤスオ)。
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版次。 |
第2版。
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出版者。 |
日刊工業新聞社/東京。
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出版年。 |
2002.3。
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ページと大きさ。 |
169p/22cm。
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件名。 |
集積回路。
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分類。 |
郷土分類:549.7 。
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NDC8 版:549.7。
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NDC9 版:549.7。
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ISBN。 |
4-526-04905-0。
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価格。 |
¥2900。
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書誌番号。 |
9810260938。
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内容紹介。 |
LSI製造プロセス開発で発生するプロセストラブルを主体に具体的事例を系統的に示すとともに、LSIの故障解析技術について現状も含めて解説。製造プロセス技術の評価と検討、後工程についても追加した、93年刊の第2版。。
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著者紹介。 |
元日本電信電話会社、NEL勤務。工学博士。。
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NTTを経てNEL入社。同SAセンターセンター長。。
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所蔵数。 |
館内でのみ利用可能な資料。 |
貸出可能な資料。 |
貸出中の資料。 |
予約数。 |
- 所蔵数
- 1 冊
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- 館内でのみ利用可能な資料
- 0 冊
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- 貸出可能な資料。
- 1 冊
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- 貸出中の資料
- 0 冊
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- 予約数
- 0 件
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番号。 |
資料番号。 |
配架場所(配架案内)。 |
請求記号。 |
状態。 |
1。 |
- 資料番号:
- 006484091。
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- 配架場所:
- 2階科学と産業のフロア2階科学と産業のフロア(お探しの資料は2階科学と産業のフロアにあります。おわかりにならない時は、職員におたずね下さい。)。
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- 請求記号:
- 549.8/N 2。
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- 状態:
- 貸出可。
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このページのURL:http://library.pref.yamaguchi.lg.jp/wo/opc_srh/srh_detail/9810260938