2025/01/03
書誌情報
| 資料の種別｡ |
図書｡
 資料情報のコピー
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| 書名｡ |
薄膜化技術(ハクマクカ/ギジュツ)｡
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| 著者名等｡ |
和佐/清孝‖著(ワサ,キヨタカ)｡
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| 早川/茂‖著(ハヤカワ,シゲル)｡
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| 版次｡ |
第3版｡
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| 出版者｡ |
共立出版／東京｡
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| 出版年｡ |
2002.6｡
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| ページと大きさ｡ |
316p／22cm｡
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| 件名｡ |
薄膜｡
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| 分類｡ |
郷土分類：541.6 ｡
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| NDC8 版：549.8｡
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| NDC9 版：549.8｡
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| ISBN｡ |
4-320-08613-9｡
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| 価格｡ |
¥5000｡
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| 書誌番号｡ |
9810279804｡
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| 内容紹介｡ |
原子スケールでの材料技術を特徴としている薄膜は、ナノスケール素材・デバイス形成の要素技術であり、エレクトロニクスや環境技術分野で重要である。基礎科学的視点を追加し、最新のデータを増補した、92年刊に次ぐ第3版。｡
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| 著者紹介｡ |
横浜市立大学理学部客員教授。共著に「強誘電性と高温超伝導」他。｡
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| 平成13年没。イオン工学センター相談役等をつとめた。共著に「薄膜技術の新潮流」他。｡
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| 所蔵数｡ |
館内でのみ利用可能な資料｡ |
貸出可能な資料｡ |
貸出中の資料｡ |
予約数｡ |
- 所蔵数
- 1 冊
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- 館内でのみ利用可能な資料
- 0 冊
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- 貸出可能な資料｡
- 1 冊
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- 貸出中の資料
- 0 冊
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- 予約数
- 0 件
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| 番号｡ |
資料番号｡ |
配架場所（配架案内）｡ |
請求記号｡ |
状態｡ |
| 1｡ |
- 資料番号：
- 006508030｡
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- 配架場所：
- ２階科学と産業のフロア２階科学と産業のフロア（お探しの資料は２階科学と産業のフロアにあります。おわかりにならない時は、職員におたずね下さい。）｡
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- 請求記号：
- 541.6/N 2｡
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- 状態：
- 貸出可｡
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このページのURL：http://library.pref.yamaguchi.lg.jp/wo/opc_srh/srh_detail/9810279804
