2024/12/22
書誌情報
資料の種別。 |
図書。
資料情報のコピー
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書名。 |
薄膜の基本技術(ハクマク/ノ/キホン/ギジュツ)。
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著者名等。 |
金原/粲‖著(キンバラ,アキラ)。
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版次。 |
第3版。
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出版者。 |
東京大学出版会/東京。
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出版年。 |
2008.7。
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ページと大きさ。 |
12,227p/21cm。
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件名。 |
薄膜。
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分類。 |
郷土分類:549.8 。
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NDC8 版:549.8。
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NDC9 版:549.8。
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ISBN。 |
978-4-13-062840-2。
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価格。 |
¥2800。
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書誌番号。 |
1000560177。
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内容紹介。 |
現代の最先端技術を支える材料である「薄膜」。真空装置の基本から、真空蒸着法、スパッタリング法、膜厚測定法、関連技術まで、薄膜技術に関する基本知識を系統的に解説する。。
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著者紹介。 |
1933年静岡市生まれ。東京大学大学院数物系研究科修了。工学博士。東京大学名誉教授、同大学生産技術研究所共同研究員。著書に「スパタリング現象」など。。
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所蔵数。 |
館内でのみ利用可能な資料。 |
貸出可能な資料。 |
貸出中の資料。 |
予約数。 |
- 所蔵数
- 1 冊
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- 館内でのみ利用可能な資料
- 0 冊
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- 貸出可能な資料。
- 1 冊
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- 貸出中の資料
- 0 冊
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- 予約数
- 0 件
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番号。 |
資料番号。 |
配架場所(配架案内)。 |
請求記号。 |
状態。 |
1。 |
- 資料番号:
- 007002660。
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- 配架場所:
- 2階産技センターセレクション2階産技センターセレクション(お探しの資料は2階科学と産業のフロアにあります。おわかりにならない時は、職員におたずね下さい。)。
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- 請求記号:
- 549.97/N 8。
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- 状態:
- 貸出可。
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このページのURL:http://library.pref.yamaguchi.lg.jp/wo/opc_srh/srh_detail/1000560177