2024/12/04
書誌情報
資料の種別。 |
図書。
資料情報のコピー
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書名。 |
超微細加工の基礎(チョウビサイ/カコウ/ノ/キソ)。
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副書名。 |
電子デバイスプロセス技術(デンシ/デバイス/プロセス/ギジュツ)。
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著者名等。 |
麻蒔/立男‖著(アサマキ,タツオ)。
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版次。 |
第2版。
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出版者。 |
日刊工業新聞社/東京。
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出版年。 |
2001.9。
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ページと大きさ。 |
295p/21cm。
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件名。 |
半導体。
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分類。 |
郷土分類:549.7 。
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NDC8 版:549.8。
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NDC9 版:549.8。
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ISBN。 |
4-526-04812-7。
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価格。 |
¥3900。
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書誌番号。 |
9810230485。
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内容紹介。 |
半導体部品の製造に使われる加工技術には、非常に多くの微細加工技術が集成され成り立っている。より要求が高まり、加工上の課題も多い超微細加工技術の基礎から応用を平易に解説。93年刊の第2版。。
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著者紹介。 |
昭和9年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。日電アネルバ(株)取締役、東京理科大学教授等を務めた。著書に「真空のはなし」「やさしい電気磁気学」など。。
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所蔵数。 |
館内でのみ利用可能な資料。 |
貸出可能な資料。 |
貸出中の資料。 |
予約数。 |
- 所蔵数
- 1 冊
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- 館内でのみ利用可能な資料
- 0 冊
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- 貸出可能な資料。
- 1 冊
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- 貸出中の資料
- 0 冊
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- 予約数
- 0 件
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番号。 |
資料番号。 |
配架場所(配架案内)。 |
請求記号。 |
状態。 |
1。 |
- 資料番号:
- 006437644。
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- 配架場所:
- 2階産技センターセレクション2階産技センターセレクション(お探しの資料は2階科学と産業のフロアにあります。おわかりにならない時は、職員におたずね下さい。)。
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- 請求記号:
- 549.8/N 1。
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- 状態:
- 貸出可。
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このページのURL:http://library.pref.yamaguchi.lg.jp/wo/opc_srh/srh_detail/9810230485